ディザイラビリティを用いた反応性イオンエッチングプロセスの最適化

BRABENDER S.; KALLIS K.T.; KELLER L.O.; POLOCZEK R.R.; FIEDLER H.L.

文献

J-GLOBAL ID：201102279689693177 整理番号：11A0474225

ディザイラビリティを用いた反応性イオンエッチングプロセスの最適化

Optimization of reactive ion etching processes using desirability

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資料名：
巻： 87 号： 5-8 ページ： 1413-1415 発行年： 2010年05月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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