Hung Yung-Jr について
Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, No. 70, Lienhai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan について
Chang Han-Jung について
Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, No. 70, Lienhai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan について
Chang Ping-Chien について
Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, No. 70, Lienhai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan について
Lin Jia-Jin について
Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, No. 70, Lienhai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan について
Kao Tzu-Chieh について
Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, No. 70, Lienhai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
ナノ構造 について
周期構造 について
リソグラフィー について
Gaussビーム について
ウエハ【IC】 について
ビーム成形 について
屈折 について
因子 について
比率 について
長さ について
レーザ干渉リソグラフィー について
レーザビーム整形 について
充満因子 について
スポットサイズ について
固体デバイス製造技術一般 について
構造形成 について
干渉リソグラフィ について
屈折 について
ビーム整形 について
採用 について