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J-GLOBAL ID：200902210824189281   整理番号：04A0828127

化学増幅型レジスト中におけるプロトンの生成・拡散に関する研究

著者 (8件)： 山本洋揮 (大阪大 産科研) ,  古沢孝弘 (大阪大 産科研) ,  中野温朗 (大阪大 産科研) ,  岡本一将 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (大阪大 産科研) ,  安藤友之 (東京応化) ,  佐藤充 (東京応化) ,  駒野博司 (東京応化)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 47th  ページ： 107-108  発行年： 2004年10月09日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリビニルフェノール ,...

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分類 (2件)： 放射線高分子化学  (CG03050S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (5件)： トリフェニルスルホニウム・トリフラート ,  クマリン6 ,  tert-ブタノール ,  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート ,  2-(1-アダマンチルオキシ)エタノール

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学増幅型レジスト ,  プロトン ,  拡散 ,  研究