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J-GLOBAL ID：200902282148476966   整理番号：09A0995822

刃状転位ネットワークを用いたエピタキシャルナノドットの自己組織化配列

著者 (7件)： 高橋雅彦 (大阪大 大学院) ,  藤原達記 (大阪大 大学院) ,  中村芳明 (大阪大 大学院) ,  吉川純 (大阪大 大学院) ,  酒井朗 (大阪大 大学院) ,  中塚理 (名大 院) ,  財満鎭明 (名大 院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 70th  号： 2  ページ： 596  発行年： 2009年09月08日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *刃状転位 ,  ナノ構造 ,  エピタクシー ,  *自己組織化 ,  配列 ,  表面構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線光電子スペクトル ,  顕微鏡観察 ,  *転位網 ,  *パターン形成 ,  *ナノドット ,  *選択エッチング ,  構造
準シソーラス用語： シリコンゲルマニウム

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 刃状転位 ,  自己組織化