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J-GLOBAL ID：201002239358484935   整理番号：10A1102332

WLF則の定数がガラスインプリント解析に与える影響

著者 (7件)： 安井学 (神奈川県産技セ) ,  荒井政大 (信州大 工) ,  高橋正春 (産業技術総合研) ,  伊藤寛明 (信州大 工) ,  金子智 (神奈川県産技セ) ,  平林康男 (神奈川県産技セ) ,  前田龍太郎 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.15P-K-12  発行年： 2010年08月30日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *微細加工 ,  パターン形成 ,  熱サイクル ,  *ガラス ,  有限要素法 ,  数値解析 ,  解析モデル ,  *法則
準シソーラス用語： *WLF則 ,  *熱インプリント

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 定数 ,  解析