特許
J-GLOBAL ID：201103054443319090
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
内藤 浩樹
, 永野 大介
, 藤井 兼太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-039428
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273445
特許番号：特許第4470518号
出願日： 2004年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】プラズマディスプレイパネルの基板を保持した基板保持具を、成膜装置が備える搬送手段と接触または接続させて搬送することで、前記基板を搬送し成膜を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記基板保持具は、第一の基板保持具と第二の基板保持具とからなり、
第一の基板保持具は、複数の枠体を有し、この枠体で前記基板およびダミー基板を保持し、
第二の基板保持具は、第一の基板保持具をその外周部で保持し、
第二の基板保持具の両端部でのみ前記搬送手段と接触または接続することで、基板保持具全体が搬送される、
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02 ( 200 6.01)
, H01J 9/46 ( 200 6.01)
, H01J 11/02 ( 200 6.01)
, C23C 14/50 ( 200 6.01)
H01J 9/02 F
, H01J 9/46 A
, H01J 11/02 B
, C23C 14/50 F
