特許

J-GLOBAL ID：201603020608305353

機能性デバイス及び機能性デバイスの製造方法

発明者： 北森 武彦 ,  馬渡 和真
出願人/特許権者： 国立研究開発法人科学技術振興機構
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  大槻 真紀子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538632
特許番号：特許第5933736号
出願日： 2013年09月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 一面に溝が形成された第1の基板と、 前記第1の基板と互いの一面同士を接合して一体に設けられ、前記第1の基板の溝とともに流路を形成する第2の基板と、 前記流路の内面の一部に修飾して配設され、前記流路内に供給した対象物質を捕捉する捕捉体、前記対象物質に電気的または化学的な作用を与える電極、触媒のうち少なくとも一つの修飾物とを備えてなり、 前記第1の基板と前記第2の基板はそれぞれ、ガラス基板あるいはシリコン基板であり、 前記第1の基板と前記第2の基板の一面同士の接合部が、少なくとも一方の基板のシリカがフッ素と結合したF-Si結合を含み、 前記第1の基板と前記第2の基板の一面同士の接合部のフッ素濃度が0.6at.%以上であることを特徴とする機能性デバイス。

IPC (5件)：

B01J 19/00 ( 200 6.01) ,  B81B 1/00 ( 200 6.01) ,  B81C 3/00 ( 200 6.01) ,  G01N 35/08 ( 200 6.01) ,  G01N 37/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B01J 19/00 321 ,  B81B 1/00 ,  B81C 3/00 ,  G01N 35/08 A ,  G01N 37/00 101

引用特許：

審査官引用 (2件)

• マイクロリアクターおよびその利用法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-208499   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• マイクロ流体デバイスおよびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-267237   出願人：株式会社神戸製鋼所