特許
J-GLOBAL ID：200903058147216070

マイクロ流体デバイスおよびその製法

発明者：
後藤 裕史

後藤 裕史 について

, 
平野 貴之

平野 貴之 について

, 
甘中 将人

甘中 将人 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-267237
公開番号（公開出願番号）：特開2007-075950
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 流体と接する微細流路内壁を有機膜で被膜するとともに、前記有機膜の耐熱上問題のない接合法によって前記微細流路を封止したマイクロ流体デバイスとその製法を提供する。【解決手段】 第一の基板1に微細流路の溝4aを形成する工程と、前記第一の基板1および前記第一の基板1と接合される第二の基板2の少なくとも互いの接合面に夫々有機膜5,7を被覆する工程と、前記第一の基板1と第二の基板2の有機膜被覆面のうち、少なくとも夫々の接合面にプラズマ処理または紫外線処理6を行い、前記有機膜5a,7aの表面を-OH基で終端させる工程と、フッ酸を用いて前記第一の基板1と第二の基板2とを前記接合面で接合する工程とを含むことを特徴とするマイクロ流体デバイス10の製法、および前記製法によって製作されたマイクロ流体デバイス10。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微細流路の溝を形成した第一の基板と、この第一の基板に重ねて接合されて前記溝の蓋となって微細流路を形成する第二の基板とからなるマイクロ流体デバイスにおいて、少なくとも前記第一の基板の溝内壁と、前記第二の基板の微細流路を形成する前記蓋部分と、両基板の各接合面とに有機膜が被覆され、かつ前記両基板の互いの有機膜被覆面が-OH基で終端されている部分で接合されたことを特徴とするマイクロ流体デバイス。
IPC (6件)：
B81B 1/00 ,  B81C 3/00 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12 ,  G01N 37/00
FI (6件)：
B81B1/00 ,  B81C3/00 ,  B01J19/00 321 ,  B01J19/08 E ,  B01J19/12 C ,  G01N37/00 101
Fターム (16件)：
4G075AA24 ,  4G075AA27 ,  4G075AA30 ,  4G075AA56 ,  4G075BA10 ,  4G075CA25 ,  4G075CA33 ,  4G075CA47 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075EB50 ,  4G075EC21 ,  4G075EE03 ,  4G075EE12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
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