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J-GLOBAL ID：201902266808828754   整理番号：19A2265258

プラズマ援用研磨法の開発(第18報)-フッ素系プラズマの照射によるAlN基板の表面改質効果の評価-

著者 (4件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O15  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,熱伝導率が大きなAlN材が幅広い分野で注目されている.AlNは難加工材料であるが,高品質な表面を高能率に得るためにプラズマ援用研磨法の適用を検討した.本報では,CF₄を含むプラズマの照射によるAlN基板表面の改質効果を,XPS測定ならびにナノインデンテーション測定により評価した結果を報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  プラズマ曝露 ,  *研磨 ,  改質 ,  基板 ,  *プラズマ援用研磨法 ,  *機械工作
準シソーラス用語： *AlN ,  プラズマ照射

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• K. Nam, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 38 (2018) 1164.
• M. Qin, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 39 (2019) 952.
• K. Yamamura, et al., Ann. CIRP. 60 (2011) 571.
• H. Deng, et al., Ann. CIRP. 62 (2013) 575.

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ援用研磨法 ,  開発 ,  フッ素 ,  プラズマ ,  AlN ,  改質効果 ,  評価