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J-GLOBAL ID：202102210451222978   整理番号：21A2600279

減圧プラズマフッ化における焼結AlN基板のフッ化レートの評価

著者 (5件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  陶通 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2021  ページ： 52-53  発行年： 2021年06月30日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 難加工材料であるAlNはGaNと近い格子定数と熱膨張係数を有するため,GaNのエピタキシャル成長用基板として期待されている.高品質な表面を高能率に得るためにプラズマ援用研磨法の適用を検討した.本研究では,CF₄を含む減圧プラズマの照射による,焼結AlN基板表面の改質効果と改質膜厚の増加に伴う改質レートの変化を,XPS測定により評価した.減圧プラズマ援用研磨法を用いてAlN基板の研磨では,研磨面には脱粒ピットは見られず,従来の機械研磨の限界を突破する3nm Saの表面粗さが得られた.(著者抄録)

シソーラス用語： 界面 ,  研磨 ,  *プラズマ ,  *焼結 ,  熱伝導率 ,  砥粒 ,  アルゴン ,  アルミナ ,  石英ガラス ,  *減圧 ,  スペクトル ,  平滑化 ,  *窒化アルミニウム ,  窒化ガリウム ,  プラズマ曝露 ,  機械工作

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 減圧 ,  焼結 ,  AlN ,  レート ,  評価