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J-GLOBAL ID:200902217778335469   整理番号:07A1007587

段階状組成傾斜法を用いた伸張歪Ge/歪緩和Ge1-xSnx層/仮想Ge基板構造の形成

著者 (6件):
資料名:
巻: 68th  号:ページ: 405  発行年: 2007年09月04日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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半導体薄膜 

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