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J-GLOBAL ID：200902226004258126   整理番号：08A1055272

超高速化量子分子動力学法およびキネティックモンテカルロ法によるマルチスケールエレクトロマイグレーションシミュレータの開発とCu配線への応用

著者 (10件)： 坪井秀行 (東北大) ,  鈴木愛 (東北大) ,  SAHNOUN Riadh (東北大) ,  古山通久 (東北大) ,  畠山望 (東北大) ,  遠藤明 (東北大) ,  高羽洋充 (東北大) ,  DEL CARPIO Carlos A. (東北大) ,  久保百司 (東北大) ,  宮本明 (東北大)
資料名： 触媒討論会討論会A予稿集  (触媒討論会(A)講演予稿集)
巻： 102nd  ページ： 400  発行年： 2008年09月23日 
JST資料番号： S0874A  ISSN： 1343-9936  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 当研究室で新たに開発したKMC法シミュレータによりデバイスレベルのエレクトロマイグレーション(EM)配線寿命予測に成功した。さらにEM現象の本質を理解する目的で,局所的な電子風力を推算する原子レベルでのEMシミュレータも開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： *エレクトロマイグレーション ,  *計算機シミュレーション ,  *モンテカルロ法 ,  *分子動力学 ,  *配線 ,  寿命予測 ,  切断 ,  電気故障 ,  電圧 ,  空格子点 ,  電子密度 ,  空間分布 ,  量子化学
準シソーラス用語： Cu配線 ,  印加電圧 ,  空孔【点欠陥】 ,  高速化量子分子動力学 ,  断線 ,  分子動力学シミュレーション

分類 (4件)： 固体中の拡散一般  (BL06021L) ,  分子の電子構造  (BH05010Q) ,  数値計算  (JE02000J) ,  電線・ケーブル  (NA05020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高速化量子分子動力学 ,  キネティックモンテカルロ法 ,  マルチ ,  開発 ,  Cu配線 ,  応用