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J-GLOBAL ID：201102289348501437   整理番号：11A1908738

焼なましした非晶質Ta₂O₅皮膜におけるナノポアの自己伸張成長

Self-elongated growth of nanopores in annealed amorphous Ta₂O₅ films

著者 (6件)： NAKAMURA R. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  TANAKA K. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  ISHIMARU M. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN) ,  SATO K. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN) ,  KONNO T.j. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN) ,  NAKAJIMA H. (The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 66  号： 3-4  ページ： 182-185  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 973K以上で焼なましした非晶質Ta₂O₅の結晶化中に蓄積した自由体積を利用した技術により方向性のある伸張ナノポアを含むTa₂O₅皮膜を製造した。透過電子顕微鏡の観察から,ボイドは斜方晶構造の長手b軸に垂直な[100]方向に伸張する事が判った。かなりの量の方向性ナノボイドの自己-集合は斜方晶Ta₂O₅の強い異方性結晶構造に起因すると考えられる。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化タンタル ,  *蒸着膜 ,  *多孔性 ,  自己集合 ,  自由体積 ,  結晶化 ,  焼なまし ,  優先配向 ,  結晶構造 ,  異方性
準シソーラス用語： ナノボイド ,  *ナノポーラス

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 焼なまし ,  非晶質 ,  Ta2O5 ,  皮膜 ,  ナノポア ,  自己 ,  伸張 ,  成長