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J-GLOBAL ID:201202201080752582   整理番号:12A1057325

貼り合わせ直接接合SrTiO3(001)基板の抵抗スイッチング特性評価

Resistive Switching Properties of Directly Bonded SrTiO3 Substrate
著者 (7件):
資料名:
巻: 112  号: 92(SDM2012 43-62)  ページ: 7-12  発行年: 2012年06月14日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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新規不揮発性メモリの一つとして,金属/絶縁体/金属構造の抵抗変化型メモリが注目されている。我々はSrTiO3(001)基板を貼り合わせ直接接合することにより界面にらせん転位網が形成されることを確認し,それを伝導性パスとするAu/SrTiO3/Au構造における抵抗スイッチング挙動を確認した。(著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体集積回路 
引用文献 (11件):
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