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J-GLOBAL ID：201202246788750630   整理番号：12A0597921

放射光X線ミラーのための高精度非球面加工装置の開発

著者 (5件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  三村秀和 (東大 大学院工学系研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O39  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 放射光用ミラーの加工を目的とし,精密数値制御加工装置を新規に開発した。本加工は,遊離砥粒加工を部分的に行いつつ表面粗さを改善させ,加工ヘッドの数値制御で全体形状を作製するものである。単位加工痕幅1.0mm×0.17mmにより平面加工を行い,表面粗さについて加工前RMS1nmから加工後RMS0.2nmを達成し,PSD解析より空間波長数100μm~1μm領域の表面粗さの改善を確認した。さらに,数値制御加工により,線幅0.8mm,高さ14nmの構造の作製に成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： シンクロトロン放射 ,  *反射鏡 ,  精度 ,  *非球面鏡 ,  精密研削 ,  砥粒 ,  表面粗さ ,  数値制御
準シソーラス用語： *X線ミラー ,  高精度 ,  遊離砥粒 ,  *加工装置

分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 放射光 ,  X線ミラー ,  非球面 ,  加工装置 ,  開発