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J-GLOBAL ID：201302217349042375   整理番号：13A0916735

172nm真空紫外光照射による選択性エッチングを通じて製作された六角形配列ナノ空孔薄膜

HEXAGONALLY ARRANGED NANOPORE FILM FABRICATED VIA SELECTIVE ETCHING BY 172-nm VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION

著者 (4件)： KOMURA Motonori (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KAMATA Kaori (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  IYODA Tomokazu (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  NAGAI Keiji (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Fusion Science and Technology  (Fusion Science and Technology)
巻： 63  号： 2  ページ： 257-264  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： A0310B  ISSN： 1536-1055  CODEN： FUSTE8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メゾゲンと組み合わせてポリエチレン酸化物(PEO)とポリメタクリレートを用い,真空紫外光照射を通じて規則性の高いナノ空孔アレイを製作した。ブロック共重合体は熱的アニールを通じて自発的に,垂直配列したPEO円筒を有する規則性の高い微視的相分離薄膜を形成する。100PaにおけるVUV照射条件におけるPEOホモポリマエッチング速度は,ポリメタクリレートホモポリマよりはるかに大きい。薄膜製造法,および原子間力顕微鏡とFourier変換赤外分光による薄膜特性評価結果について述べる。これらの技術は,低密度ターゲット材料の製造に応用できる。

シソーラス用語： ICFターゲット ,  *ナノ構造 ,  *格子構造 ,  真空紫外線 ,  エッチング ,  *フォトエッチング ,  薄膜 ,  *選択腐食 ,  ブロック共重合体 ,  ポリメタクリル酸エステル ,  メソゲン ,  原子間力顕微鏡 ,  Fourier変換赤外分光分析
準シソーラス用語： ポリメタクリレート ,  真空紫外光 ,  *選択性エッチング ,  六角形配列

分類 (2件)： 核融合装置  (BJ02083Z) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光照射 ,  選択性エッチング ,  製作 ,  六角形 ,  空孔 ,  薄膜