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J-GLOBAL ID：201302298648887918   整理番号：13A0718256

超短パルスレーザー干渉加工法:プラズモニクスへの応用

Interfering femtosecond laser processing; application to plasmonics

著者 (4件)： 中田芳樹 (大阪大) ,  松葉良生 (大阪大) ,  村川惠一 (大阪大) ,  宮永憲明 (大阪大)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-13  号： 19-21.23-26  ページ： 21-25  発行年： 2013年03月08日 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 干渉した超短パルスレーザーで直接加工することで,ナノサイズの単位構造が一次元・二次元周期配列した構造を作製する研究を進めている。これまでの研究の中で,干渉するビーム間の位相・強度を変調することで周期パターンにおける単位構造を種々にデザイン出来ることを見出した。本論文では,4光束及び6光束干渉パターンがビーム間の位相・強度によって変化する様子を調べ,さらに加工しきい値と加工フルエンスの関係による単位構造の変化を明らかにした。また,一般的なフェムト秒レーザーの波長である785nm及び第2高調波(SHG)で加工出来る周期の限界を明らかにし,また,SHGでの加工例を紹介した。

シソーラス用語： パルスレーザ ,  超短波 ,  *レーザ加工 ,  技術 ,  表面プラズモン ,  *干渉縞 ,  パターン形成 ,  光束 ,  第二高調波発生 ,  人工材料 ,  ナノテクノロジー ,  超短パルスレーザ
準シソーラス用語： SHG【高調波】 ,  ナノサイズ ,  プラズモニクス ,  メタマテリアル ,  *干渉パターン

分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  その他の光デバイス  (BD06060O) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (22件)：

• (1) K. O. Hill, Y. Fujii, D. C. Johnson, and B. S. Kawasaki, “Photosensitivity in optical fibre waveguides-Application to reflection filter fabrication”, Appl. Phys. Lett., Vol.32, pp.647-649 (1978)
• (2) C. V. Shank, J. E. Bjorkholm, and H. Kogelnik, “Tunable distributed-feedback dye laser”, Appl. Phys. Lett., Vol.18, pp.395-396 (1971)
• (3) B. R. Brown, and A. W. Lohmann, “Complex spatial filtering with binary masks”, Appl. Opt., Vol.9, pp.967-969 (1966).
• (4) Y. Qiu, L. Zhan, X. Hu, S. Luo, and Y. Xia, “Demonstration of color filters for OLED display based on extraordinary optical transmission through periodic hole array on metallic film”, Display, Vol. 32, pp.308-312 (2011).
• (5) Y. Nakata, T. Okada, and M. Maeda, “Nano-sized hollow bump array generated by single femtosecond laser pulse“, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.42, pp.L1452-L1454 (2003).

タイトルに関連する用語 (4件)： 短パルスレーザー ,  干渉 ,  プラズモニクス ,  応用