成形体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池田憲保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-338997
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181995
特許番号：特許第4736019号
出願日： 2004年11月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に供給した超微粒子脆性材料に機械的衝撃力を負荷して超微粒子脆性材料を粉砕・接合させることにより成形体を形成する成膜法であって、前記成形体の主たる構成体を形成する超微粒子脆性材料を第1のノズルから前記基板に供給することにより薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記第1のノズルとは異なる第2のノズルから超微粒子を供給することにより、前記成形体の主たる構成体を形成する超微粒子脆性材料より粒径の大きい超微粒子脆性材料を選択的に除去する選択除去工程とを有し、前記第2のノズルから供給される超微粒子がドライアイス(CO2)であることを特徴とする成形体の製造方法。

IPC (3件)：