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J-GLOBAL ID：201702277127021245   整理番号：17A0848144

大気圧プラズマを用いた金型用反応焼結SiC材のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術-プラズマCVMの基礎加工特性-

著者 (4件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  大久保雄司 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2017  ページ： 74-75  発行年： 2017年06月29日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高精度ガラスモールド用の金型材料には,耐摩耗性,耐熱性,化学的安定性等が要求されるため,高機能の焼結SiC材が用いられる。従来の機械加工法を用いると,必然的にダメージと加工変質層が導入されるために,SiC材が有する優れた熱的,機械的,化学的な性質を維持できない。本研究では,数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machinig)による形状創成,およびプラズマ援用研磨(PAP:Plasma Assisted Polishing)による表面仕上げを組み合わせた,「大気圧プラズマを用いた金型用反応焼結SiC(RS-SiC)材のダメージフリー形状創成・仕上げのプロセス」の開発を目指している。本報ではRS-SiCのプラズマCVM加工において,加工速度と加工ギャップ,反応ガス組成との依存性を調査し,RS-SiCに対して最大加工速度の加工ギャップと反応ガス組成を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： *金型 ,  *反応焼結 ,  *炭化ケイ素 ,  大気プラズマ ,  損傷 ,  *超精密加工 ,  プラズマ ,  数値制御 ,  研磨 ,  表面仕上 ,  *加工性 ,  加工速度 ,  化学組成 ,  気体
準シソーラス用語： ダメージフリー ,  形状加工 ,  *プラズマCVM ,  プラズマ援用研磨法 ,  ガス組成 ,  反応ガス

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (10件)： 大気圧プラズマ ,  金型 ,  反応焼結 ,  SiC ,  ダメージ ,  創成 ,  仕上げ加工 ,  プラズマCVM ,  基礎 ,  加工特性