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J-GLOBAL ID：202102215005631704   整理番号：21A0695879

スパッタ法と高温アニールで作製した-c/+c AlN薄膜の電子線回折による極性判定

Polarity Determination Using Electron Diffraction for -c/+c AlN Films Fabricated by Sputtering and High-Temperature Annealing

著者 (7件)： 林侑介 (大阪大 大学院) ,  野本健斗 (大阪大 大学院) ,  濱地威明 (大阪大 大学院) ,  藤平哲也 (大阪大 大学院) ,  三宅秀人 (三重大 大学院) ,  五十嵐信行 (名大 IMaSS) ,  酒井朗 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.8a-Z02-9  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【概要】AlNは~200nmのバンド端波長、4.3pm/Vの非線形光学定数d33(λ=1μm)を有することから、紫外-可視-赤外の広帯域で動作する波長変換材料として有望である[1]。当グループではAl金属ターゲット(Al-T)とAlN焼結体...【本文一部表示】

シソーラス用語： *回折 ,  *高温 ,  コントラスト ,  *焼なまし ,  *電子回折 ,  *薄膜 ,  結晶方位 ,  波長 ,  近赤外線 ,  半値幅 ,  *窒化アルミニウム ,  薄膜成長 ,  広帯域 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： 深紫外線 ,  暗視野 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタ法 ,  アニール ,  作製 ,  AlN ,  薄膜 ,  電子線回折 ,  極性