文献
J-GLOBAL ID:202102226042368865
整理番号:21A1575042
ナノビームX線回折法によるNPSS上AlN厚膜の深さ分解結晶性トモグラフィック評価
Depth-resolved tomographic analysis on thick AlN films grown on NPSS using nanobeam X-ray diffraction
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