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J-GLOBAL ID：202102259602465833   整理番号：21A0695880

N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析

Microstructure analysis of thick AlN films grown with sputter-deposited annealed AlN templates on nano-patterned sapphire substrates

著者 (6件)： 山本望 (大阪大 大学院) ,  濱地威明 (大阪大 大学院) ,  林侑介 (大阪大 大学院) ,  藤平哲也 (大阪大 大学院) ,  三宅秀人 (三重大 大学院) ,  酒井朗 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.8a-Z02-10  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【背景】UV-C LEDは紫外線殺菌に期待されているが、高い貫通転位密度・低い光取り出し効率(LEE)のため発光効率の低下が問題となっている。先行研究[1]では、高LEEかつ低転位密度なAlN成長を目的として、ナノパターン加工サファイア基板...【本文一部表示】

シソーラス用語： 回折 ,  界面 ,  *焼なまし ,  電子顕微鏡観察 ,  励起 ,  転位密度 ,  *窒化アルミニウム ,  ファセット ,  制限視野回折 ,  MOCVD ,  *スパッタ蒸着 ,  集束イオンビーム ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： 暗視野 ,  サファイア基板 ,  ナノパターン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 発光素子  (NC03082G) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (9件)： PSS ,  スパッタ堆積 ,  アニール ,  AlN ,  テンプレート ,  成長 ,  厚膜 ,  微細構造 ,  解析