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J-GLOBAL ID：201902241019886630   整理番号：19A1931648

(001)基板上に形成したFePt合金薄膜の構造特性

Structure of FePt Alloy Thin Films Formed on (001) Substrates

著者 (4件)： 大竹充 (横浜国大) ,  二本正昭 (中央大) ,  桐野文良 (東京藝術大) ,  稲葉信幸 (山形大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 136(MRIS2019 10-14)  ページ： 37-42  発行年： 2019年07月12日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FePt合金薄膜を(001)酸化物単結晶基板上に超高真空マグネトロンスパッタリング法により形成し,膜と基板との界面での応力により生じる面内格子歪に着目し,L1₀相への規則化と結晶配向の制御法の検討を行った.FePtよりも大きな格子定数を持つ基板材料を用い,更に,FePt膜厚を減少させることにより,格子歪が増加し,それにより規則化が促進された.また,MgOキャップ層や高表面エネルギー下地層を用いることにより,極薄のFePt膜に対しても,高い表面平坦性を得ることができ,L1₀(100)およびL1₀(010)バリアントの生成も抑制できることが明らかになった.(著者抄録)

シソーラス用語： 基板 ,  *金属薄膜 ,  *磁性合金 ,  鉄合金 ,  白金含有合金 ,  エピタクシー ,  規則度 ,  結晶方位 ,  *磁性薄膜 ,  *合金薄膜

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (9件)：

• M. Ohtake, S. Ouchi, F. Kirino, and M. Futamoto: J. App. Phys., 111, 07A708 (2012).
• M. Ohtake, A. Itabashi, M. Futamoto, F. Kirino, and N. Inaba: J. Magn. Soc. Jpn., 39, 167 (2015).
• K. Sato, B. Bian, and Y. Hirotsu: J. Appl. Phys., 91, 8516 (2002).
• Y. K. Takahashi, K. Hono, T. Shima, and K. Takanashi: J. Magn. Magn. Mater., 267, 248 (2003).
• T. Seki, T. Shima, K. Takanashi, Y. Takahashi, E. Matsubara, and K. Hono: Appl. Phys. Lett., 82, 2461 (2003).

タイトルに関連する用語 (2件)： 合金薄膜 ,  構造特性