王谷洋平

オウタニヨウヘイ | Otani Yohei

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (1件)：電気電子材料工学

研究キーワード (1件)：薄膜作製

競争的資金等の研究課題 (9件)：

2023 - 2024 high-k/Ge構造における界面物理構造のプロセス温度依存の解明
2022 - 2023 high-k/Ge構造における界面物理構造のプロセス依存の解明
2021 - 2022 high-k/Ge構造における界面物理構造のプロセス依存の解明
2020 - 2021 high-k/Ge構造における界面物理構造のプロセス依存の解明
2017 - 2020 各種high-k/Ge構造において成膜後プロセスがもたらす効果の検討

全件表示

論文 (42件)：

Takuro Iwasaki, Toshiro Ono, Yohei Otani, Yukio Fukuda, Hiroshi Okamoto. Interface State Density Evaluation of p-Type and n-Type Ge/GeNx Structures by Conductance Technique. ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN. 2015. 98. 6. 8-15
Takehiro Haneda, Kosei Yanachi, Hiroki Ishizaki, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Toshiyuki Takamatsu, Yukio Fukuda. In situ formation of aluminum germanate interlayer for high-k/Ge metal-oxide-semiconductor structure by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen. Proceedings of the twelfth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP 2013). 2013. 402-405
Yukio Fukuda, Hiroki Ishizaki, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Toshiyuki Takamatsu, Hiroshi Okamoto, Hidehumi Narita. Spontaneous formation of aluminum germanate on Ge(100) by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen. APPLIED PHYSICS LETTERS. 2013. 102. 13. 132904-1-132904-4
Takuro Iwasaki, Toshiro Ono, Yohei Otani, Yukio Fukuda, Hiroshi Okamoto. Interface-State-Density Evaluation of p-type and n-type Ge/GeNx Structures by Conductance Technique. IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 2013. 133. 7
岩崎拓郎, 小野俊郎, 王谷洋平, 福田幸夫, 岡本浩. ECRプラズマ法によって作製したp型並びにn型GeNx/Ge構造のコンダクタンス法による界面準位密度評価. 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌). 2013. 133. 7. 1-1284

MISC (8件)：

Hiroshi Okamoto, Daichi Yamada, Hidefumi Narita, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Yukio Fukuda. Effect of postdeposition treatments on the electrical properties of Al2O3/GeO2 gate stack grown on Ge substrate by radical-enhanced atomic layer deposition. Extended abstract of 9th International Workshop on New group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration". 2016. I-04-7-I-04-8
Takuro Iwasaki, Toshiro Ono, Yohei Otani, Yukio Fukuda, Hiroshi Okamoto. Interface State Density Evaluation of p-Type and n-Type Ge/GeNx Structures by Conductance Technique. ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN. 2015. 98. 6. 8-15
簗池昴生, 横平知也, 山田大地, 王谷洋平, 柳ビョンハク, 関渓太, 佐藤哲也, 福田幸夫. RE-ALD形成Al2O3/GeO2/p-Geの電気的特性に及ぼす熱処理と酸素ラジカル照射の効果. 応用物理学会第20回ゲートスタック研究会特別報告書. 2015. 193-196
石崎博基, 梁池昂生, 関渓太, 滝澤蓮, 花田毅広, 王谷洋平, 山本千綾, 山中淳二, 佐藤哲也, 福田幸夫. マイクロ波リモートプラズマ-ALD法によるSi基板上のHfO/HfSixOy薄膜の作製および評価. 第18回ゲートスタック研究会特別研究会研究報告書. 2013. 123-126
梁池昂生, 関渓太, 滝澤蓮, 花田毅広, 石崎博基, 王谷洋平, 佐藤哲也, 福田幸夫. ALD法によりSi(100)基板上に成膜したHfO2薄膜のマイクロ波リモート酸素プラズマ照射による特性改善. 第18回ゲートスタック研究会特別研究会研究報告書. 2013. 143-146

書籍 (2件)：

無機材料の表面処理・改質技術と将来展望-金属,セラミックス,ガラス-
シーエムシー出版 2007 ISBN:9784882316978
エレクトロニクス用セラミックスの製造プロセスと応用技術《大全集》
技術情報協会 2007

講演・口頭発表等 (78件)：

p型Ge基板上に低温堆積したAl2O3薄膜の電気特性
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
成膜プロセスがhigh-k/Ge構造に及ぼす影響
(東北大学電気通信研究所 -情報通信共同研究拠点- 令和4年度共同プロジェクト研究発表会 2023)
p型Ge基板上に低温堆積した非晶質炭素薄膜のI-V特性
(令和4年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会 2022)
high-k/Ge界面における電気特性のプロセス依存の解明
(東北大学電気通信研究所 -情報通信共同研究拠点- 令和3年度共同プロジェクト研究発表会 2022)
Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures
(240th Meeting of the Electrochemical Society (240th ECS Meeting) 2021)

学歴 (2件)：

- 2006 奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科物質創成科学
- 2001 京都大学工学部工業化学科

学位 (1件)：

博士(工学) (奈良先端科学技術大学院大学)

経歴 (4件)：

2008 - 2012 諏訪東京理科大学システム工学部講師
2012 - 諏訪東京理科大学システム工学部准教授
2007 - 2008 諏訪東京理科大学システム工学部助教
2006 - 2007 諏訪東京理科大学システム工学部助手

委員歴 (6件)：

2017/06 - 現在長野県下諏訪町まち・ひと・しごと創生有識者会議委員
2013/04 - 現在茅野市教育委員会茅野市公民館運営審議会委員
2018/04 - 2022/03 公益社団法人応用物理学会代議員
2020/10 - 2021/03 長野県下諏訪町下諏訪町総合計画審議会委員
2017/05 - 2020/05 公益社団法人日本セラミックス協会協会誌編集委員

全件表示

受賞 (1件)：

2006/09/19 - 日本セラミックス協会第19回秋季シンポジウム「誘電材料の新展開-ナノ構造制御と新材料設計-」シンポジウムポスター奨励賞

所属学会 (4件)：

一般社団法人日本MRS , 公益社団法人日本セラミックス協会 , 公益社団法人化学工学会 , 公益社団法人応用物理学会

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

王谷 洋平

王谷洋平