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J-GLOBAL ID：201302201012851995   整理番号：13A0702090

トリメチルアルミニウムとマイクロ波発生原子状酸素の原子層蒸着によるGe(100)上のゲルマニウム酸アルミニウムの自発的形成

Spontaneous formation of aluminum germanate on Ge(100) by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen

著者 (9件)： FUKUDA Yukio (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  ISHIZAKI Hiroki (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  OTANI Yohei (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  YAMAMOTO Chiaya (Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  YAMANAKA Junji (Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  SATO Tetsuya (Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  TAKAMATSU Toshiyuki (SST Inc., 989-6 Shimadadai, Yachiyo, Chiba 276-0004, JPN) ,  OKAMOTO Hiroshi (Hirosaki Univ., 3 Bunkyo-cho, Hirosaki, Aomori 036-8561, JPN) ,  NARITA Hidehumi (Hirosaki Univ., 3 Bunkyo-cho, Hirosaki, Aomori 036-8561, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 102  号： 13  ページ： 132904-132904-4  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  原子 ,  *ゲルマニウム ,  ゲルマニウム酸塩 ,  水 ,  酸化剤 ,  *MIS構造 ,  *容量電圧特性 ,  *捕獲中心 ,  X線光電子スペクトル ,  *酸化アルミニウム
準シソーラス用語： 原子層蒸着 ,  酸素原子 ,  *ゲルマニウム酸アルミニウム

分類 (1件)： 金属-絶縁体-半導体構造  (BM03085X)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

タイトルに関連する用語 (7件)： トリメチルアルミニウム ,  マイクロ波発生 ,  原子状酸素 ,  原子層蒸着 ,  Ge ,  ゲルマニウム酸 ,  アルミニウム