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J-GLOBAL ID：200902131018864087   整理番号：00A0688907

ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究 1 3次元位置検出の基本原理

The Laser Trapping Probe for Nano-CMM. (1st Report). Positional Detection Principle of the Laser Trapping Probe and Its Nature.

著者 (6件)： 高谷裕浩 (大阪大 大学院) ,  佐藤憲章 (オムロン) ,  高橋哲 (大阪大 大学院) ,  三好隆志 (大阪大 大学院) ,  清水浩貴 (大阪大 大学院) ,  渡辺万次郎 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 7  ページ： 1081-1086  発行年： 2000年07月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気中レーザトラッピング技術と光干渉法に基づくナノ座標測定機...

シソーラス用語： *レーザビーム ,...

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分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (13件)：

• TAKAMASU, K. Basic Concepts of Nano-CMM(Coordinate Measuring Machine with Nanometer Resolution). Proc.Japan-China Bilateral Symp.Advanced Manufacturing Engineering. 1996, 155
• 高増潔. 吸気型ボールプローブの開発(第1報)-基本的構成-. 精密工学会誌. 1998, 64, 8, 1153
• 白石利治. マイクロ部品用形状測定装置の開発-装置の構成ならびに測定結果-. 精密工学会誌. 1998, 64, 9, 1395
• PEGGS, G. N. Design for a Compact High-Accuracy CMM. Ann.CIRP. 1999, 48/1, 417
• ASHKIN, A. Acceleration and Trapping of Particles by Rradiation Pressure. Phys.Rev.Lett. 1970, 24, 4, 156

タイトルに関連する用語 (5件)： CMM ,  研究 ,  3次元 ,  位置検出 ,  原理