特許
J-GLOBAL ID：200903063168106642

三次元形状測定装置

発明者：
ミハル パヴロフスキー

ミハル パヴロフスキー について

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武田 光夫

武田 光夫 について

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木村 高啓

木村 高啓 について


出願人/特許権者：
アンリツ株式会社

アンリツ株式会社 について

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国立大学法人 電気通信大学

国立大学法人 電気通信大学 について


代理人 (2件)： 特許業務法人三澤特許事務所 ,  三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-292911
公開番号（公開出願番号）：特開2009-121828
出願日： 2007年11月12日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：
【課題】干渉縞が生ずる光路長を、簡易な構成で特定できる技術を提供する。【解決手段】光路長可変手段8が測定光路の光路長を可変させて、光路形成部5が、参照鏡からの反射光と照射された被測定物の照射位置からの反射光とを合波して出力する。カメラ10が、光路長の変化に対応して変化する、光路形成部からの干渉光を含む出力光を撮像する。帯域選択手段14aはカメラからの出力信号の周波数帯域を高周波領域に制限する。ピーク検出手段14bは帯域選択手段からの出力信号の大きさが最大となる光路長を求める。位相検出手段14cは、帯域選択手段からの出力信号の位相がゼロとなる光路長であって大きさが最大となる光路長に最も近い光路長を求める。そして、位相検出手段により求めた光路長を基に、被測定物の三次元形状を測定する構成とした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のスペクトラムを有する広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、 該広帯域光を、参照鏡を有する参照光路と被測定物を配置した測定光路とに分岐して入射させ、前記参照鏡からの反射光と照射された該対象物の照射位置からの反射光とを合波して出力する光路形成部(5)と、 前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる光路長可変手段(8)と、 該光路長可変手段による該光路長の変化に対応して変化する、前記光路形成部から出力光を電気信号に変換して出力する検出手段(10)と、 該検出手段の出力の周波数帯域を高周波領域に制限する帯域選択手段(14a)と、 該帯域選択手段からの出力信号の大きさが最大となる光路長を求めるピーク検出手段(14b)と、 該帯域選択手段からの出力信号の位相がゼロとなる光路長であって前記大きさが最大となる光路長に最も近い光路長を求める位相検出手段(14c)と、を備え、 該位相検出手段により求めた光路長を基に、被測定物の三次元形状を測定することを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 K
Fターム (8件)：
2F065AA53 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ29
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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