三次元形状測定装置及び測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三澤正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-092645
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263904
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】広帯域光とコヒーレント光を検出して異常であるかどうかの自己診断を行える三次元測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】ビームスプリッター5が、白色光及びレーザー光を合波して参照光路と測定光路とに入射させて照射し、参照鏡からの反射光と被測定物からの反射光とを合波して出力する光学系において、光路長可変手段8により測定光路の光路長を変化させて、カメラ10がビームスプリッター5からの出力を撮像して干渉縞のデータを取得する。そのデータにより、光路長の変化に対するレーザー光による干渉縞の変化をスケールとして、白色光による干渉縞が生ずる測定光路の光路長を求める構成において、レーザー光検出手段31と広帯域光検出手段32を設けてHe-Neレーザー11と光源1の異常を判断する自己診断を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、コヒーレント光を出力するコヒーレント光源(11)と、それぞれ遠端に、参照鏡を配置した参照光路と被測定物を配置した測定光路の双方に該広帯域光及びコヒーレント光を入射させ、前記参照鏡からの反射光と前記被測定物からの反射光とを合波して出力する光路形成部(5)と、前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる光路長可変手段(8)と、該光路形成部が出力する反射波の合波を基に、前記広帯域光による干渉縞が生ずる光路長を、前記コヒーレント光による干渉縞の変化を基に求める光路長検出手段(14)と、を備え、求めた光路長から三次元の形状を測定する三次元形状測定装置であって、前記広帯域光の少なくとも一部を検出する広帯域光検出手段(32)と、前記コヒーレント光の少なくとも一部を検出するコヒーレント光検出手段(31)と、前記コヒーレント光検出手段の出力及び前記広帯域光検出手段の出力を受けてそれぞれの出力の良否判定を行う制御部(30)とを備えたことを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 D

Fターム (13件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG05 , 2F065GG22 , 2F065GG24 , 2F065HH13 , 2F065JJ09 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL46 , 2F065SS09

引用特許：

出願人引用 (8件)

3次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-119993 出願人：オリンパス光学工業株式会社
USP662894号公報
形状測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301476 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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審査官引用 (6件)

形状測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301476 出願人：オリンパス光学工業株式会社
回路部品検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-049101 出願人：株式会社豊田中央研究所
特開昭61-221923

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