特許

J-GLOBAL ID：200903068730718313

無限軌道並進回転ステージ

発明者： 姜 顯旭 ,  横山 浩 ,  井上 貴仁 ,  多辺 由佳
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  科学技術振興事業団
代理人 (2件)： 清水 守 ,  清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-276434
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090282
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 慣性力の代わりに摩擦力を用いた、位置決め精度の高い無限軌道並進回転ステージを提供する。【解決手段】 無限軌道並進回転ステージにおいて、2本の直交する積層型ピエゾ素子x1,y1、x2,y2、x3,y3に保持される3個の鋼球2,3,4と、ステージ7の中心部に設置される磁石5と、前記3個の鋼球2,3,4によって支持される試料台1とを備え、前記鋼球2,3,4を所定のタイミングと方向に繰り返し振動させることにより、摩擦力のみにて前記試料台1を駆動する。

請求項（抜粋）：

(a)略正三角形になるように配置され、2本の直交する伸縮型ピエゾ素子に保持される硬度が高い3個の球体と、(b)該3個の球体によって支持される試料台とを備え、(c)前記3個の球体を所定のタイミングと方向に繰り返し振動させることにより、摩擦力のみにて前記試料台を駆動することを特徴とする無限軌道並進回転ステージ。

IPC (6件)：

G01N 13/10 ,  G02B 21/26 ,  G12B 21/20 ,  G12B 5/00 ,  H02N 2/00 ,  G01B 7/34

FI (7件)：

G01N 13/10 B ,  G02B 21/26 ,  G12B 5/00 T ,  H02N 2/00 C ,  H02N 2/00 B ,  G01B 7/34 Z ,  G12B 1/00 601 G

Fターム (20件)：

2F063AA43 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063ZA03 ,  2F078CA06 ,  2F078CA08 ,  2F078CB14 ,  2F078CC11 ,  2H052AA07 ,  2H052AD19 ,  2H052AD21 ,  5H680BB02 ,  5H680BB13 ,  5H680BB19 ,  5H680BB20 ,  5H680BC10 ,  5H680CC02 ,  5H680DD23 ,  5H680FF24

引用特許：

審査官引用 (6件)

• x-y-θ微動ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-234714   出願人：福島県
• 特開昭62-264543
  
• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271082   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 検査装置及び検査対象物保持台
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-239419   出願人：オムロン株式会社
• 振動アクチュエータ駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-009719   出願人：株式会社ニコン
• 物品用ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-312930   出願人：カネテック株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• A compact micropositioner for use in ultrahigh vacuum