永久磁石を用いたCH4/O2/H2電子サイクロトロン共鳴プラズマのプラズマ診断と非晶質炭素の蒸着

文献

J-GLOBAL ID：200902114092753260 整理番号：99A0730807

永久磁石を用いたCH₄/O₂/H₂電子サイクロトロン共鳴プラズマのプラズマ診断と非晶質炭素の蒸着

Plasma Diagnostics of CH₄/O₂/H₂ Electron Cyclotron Resonance Plasma with Permannt Magnets and Deposition of Amorphous Carbon.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0730807&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0730807&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 38 号： 7A ページ： 4200-4205 発行年： 1999年07月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

非晶質炭素のプラズマ増強化学蒸着のために,永久磁石を用いた電...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0730807&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

薄膜成長技術・装置 , 気相めっき

引用文献 (21件)：

(1) M. Kamo, Y. Sato, S. Matsumoto and N. Setaka: J. Cryst. Growth 62 (1983) 642.
(2) J. A. Mucha, D. L. Flamm and D. E. Ibbotson: J. Appl. Phys. 65 (1989) 3448.
(3) Y. Muranaka, H. Yamashita, K. Sato and H. Miyadera: J. Appl. Phys. 67 (1990) 6247.
(4) G. Balestrino, M. Marinelli, E. Milani, A. Paoletti, I. Pinter and A. Tebano: Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 879.
(5) Z. Feng, K. Komvopoulos, D. B. Bo`gy, J. W. Ager III, S. Anders, A. Anders, Z. Wang and I. G. Brown: J. Appl. Phys. 79 (1996) 485.

, , , , , ,

前のページに戻る