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J-GLOBAL ID：200902231549476361   整理番号：09A0027348

2^nd Harmonic ECRマイクロプラズマを用いた細管内壁面へのDLCコーティングに及ぼす即バイアス効果

著者 (6件)： YAN K. (長崎大 大学院生産科学研究科) ,  中谷達行 (トーヨーエイテック) ,  新田祐樹 (トーヨーエイテック) ,  岡本圭司 (トーヨーエイテック) ,  篠原正典 (長崎大 工) ,  藤山寛 (長崎大 大学院生産科学研究科)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集
巻： 34  ページ： 14  発行年： 2008年11月29日 
JST資料番号： L1487A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *ECRプラズマ ,  *プラズマ ,  高調波 ,  *バイアス ,  内壁 ,  スパッタリング ,  Ramanスペクトル ,  ガラス管 ,  プラズマCVD ,  アルケン ,  *マイクロプラズマ ,  第二高調波
準シソーラス用語： 二次高調波

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  無機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル  (BM08063C)

物質索引 (1件)： エチレン

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロプラズマ ,  細管 ,  内壁面 ,  DLCコーティング ,  バイアス