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J-GLOBAL ID：201702243438780944   整理番号：17A0617156

汎用性高度化2ω法による熱電薄膜の熱伝導率測定

Thermal Conductivity Measurement of Thermoelectric Thin Films by a Versatility-Enhanced 2ω Method

著者 (5件)： OKUHATA Ryo (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  WATANABE Kentaro (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  IKEUCHI Satoaki (ADVANCE RIKO Inc., Yokohama, JPN) ,  ISHIDA Akihiro (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  NAKAMURA Yoshiaki (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 46  号： 5  ページ： 3089-3096  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板上の高耐熱性熱電(TE)膜の定量的な熱伝導率(k)評価のための厳密解解析に基づく,精密な2ω法を提案した。ラインフィッティング解析である従来の2ω法ではk値が測定できなかった,BaF₂(111)基板上にエピタキシャル成長した高耐熱PbTe厚膜において,定量的なk評価を実証した。得たk値の定量性は,k値の妥当性およびPbTe厚膜の結晶化度に対するそれらの感度により証明した。この方法が(PbTe/GeSi)₁₀₀超格子のようなナノ構造膜の定量的なk値を得るための有効な方法であることも示した。この精密な2ω法は,様々なTE膜の多彩な測定を可能にした。

シソーラス用語： *熱電材料 ,  *薄膜 ,  *基板 ,  *計測 ,  厳密解 ,  耐熱性 ,  結晶度
準シソーラス用語： 結晶化度 ,  *熱伝導率測定

分類 (2件)： 電気的性質  (WB02010Y) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 汎用性 ,  高度化 ,  薄膜 ,  熱伝導率測定