特許
J-GLOBAL ID:201103055124700860

温度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-204563
公開番号(公開出願番号):特開2004-045283
特許番号:特許第3584292号
出願日: 2002年07月12日
公開日(公表日): 2004年02月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】一方が真空側に固定されるものであって、リング状溝が接合面に互いに対向して設けられ、このリング状溝の内周側に前記真空環境に連通される間隙部が設けられ、前記リング状溝の外周側に複数の当接部及び圧力環境に連通される間隙部が交互に設けられた一対のフランジ部材と、この一対のフランジ部材の各リング状溝に収容されるリング状弾性部材と、前記一対のフランジ部材の当接部同士を当接させた状態で、各リング状溝に収容された前記弾性リング部材同士を圧接させて、該一対のフランジ部材相互を締結するフランジ締結手段と、中間部が前記一対のフランジ部材のリング状溝に収容されたリング状弾性部材間に挟持された状態で横断させて、前記リング状溝の内周側及び外周側の間隙部を通して真空環境側と圧力環境側間に配線される被覆が施された熱電対と、この熱電対の出力信号に基づいて温度を検出する温度検出部とを具備したことを特徴とする温度測定装置。
IPC (3件):
G01K 7/02 ,  F16J 15/06 ,  G01K 7/00
FI (3件):
G01K 7/02 Z ,  F16J 15/06 L ,  G01K 7/00 A
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 熱電対素線の導出構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-018714   出願人:安立計器株式会社
  • 熱処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-208216   出願人:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
  • 真空熱処理炉用温度測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-082401   出願人:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社, 日本フエンオール株式会社

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