研究者

J-GLOBAL ID：201201099175895981 更新日: 2021年03月04日

高田聡

Takada Akira

所属機関・部署：

研究分野 (1件)：半導体、光物性、原子物理

研究キーワード (1件)：包括脳ネットワーク

論文 (15件)：

Masato Shibuya, Akira Takada, Toshiharu Nakashima. Theoretical study for aerial image intensity in resist in high numerical aperture projection optics and experimental verification with one-dimensional patterns. JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS. 2016. 15. 2
Akira Takada, Makoto Saika, Shigenori Nagano. Phase stabilization of an actively mode-locked ring laser. FIBER LASERS XII: TECHNOLOGY, SYSTEMS, AND APPLICATIONS. 2015. 9344
Masato Shibuya, Akira Takada, Toshiharu Nakashima. Comparing the Experimental Resist Pattern Width with Aerial Image Intensity in Resist in High NA Projection Lens. OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII. 2015. 9426
Akira Takada, Makoto Saika, Shigenori Nagano. Effect of linewidth enhancement factor in actively mode-locked ring laser. FIBER LASERS XI: TECHNOLOGY, SYSTEMS, AND APPLICATIONS. 2014. 8961
Akira Takada, Makoto Fujino, Shigenori Nagano. Dispersion dependence of linewidth in actively mode-locked ring lasers. OPTICS EXPRESS. 2012. 20. 4. 4753-4762

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MISC (12件)：

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学位 (1件)：

博士(工学) (東京工芸大学)

所属学会 (2件)：

SPIE , IEEE

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