応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
変化 について
熱処理 について
MIS構造 について
誘電体薄膜 について
酸化ゲルマニウム について
ゲルマニウム について
金属 について
界面 について
電極 について
漏れ電流 について
ECRプラズマ について
X線光電子分光法 について
熱安定性 について
アルミニウム について
結合エネルギー について
電子ビーム蒸着 について
酸化ハフニウム について
Al-Ge結合 について
high-k膜 について
アルミニウム電極 について
ゲートスタック について
構造変化 について
酸素プラズマ について
二酸化ゲルマニウム について
金属-絶縁体-半導体構造 について
作製 について
Ge について
スタック について
熱処理 について
構造変化 について