散乱型近接場顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：家入健 , 岩瀬康弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-332046
公開番号（公開出願番号）：特開2009-156602
特許番号：特許第5256433号
出願日： 2007年12月25日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】励起レーザとチップ増強ラマンプローブとを有する散乱型近接場顕微鏡であって、前記チップ増強ラマンプローブは、 Siからなる中心層と、SiO2からなる中間層と、金属からなる表面層との3層構造を有し、前記中心層と前記中間層の厚さの比は、該プローブのプラズモン共鳴波長と前記励起レーザの波長とが等しくなるような比である、散乱型近接場顕微鏡。

IPC (3件)：