散乱型近接場顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前川幾治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267418
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081383
出願日： 1998年09月05日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】先端が金属のプローブを用いる散乱型近接場顕微鏡に開口数が1以上の対物レンズを用いるとき、プローブ先端以外で反射ないし散乱されるノイズ光を抑圧することを目的とする。【解決手段】上記対物レンズにより形成される集光スポットを、開口数が1以上の光束のみにより形成する手段を設ける。この光束形成手段としては、光軸上に中心を有する円形の遮光体、またはアキシコン光学素子を用いることができる。

請求項（抜粋）：

開口数が1以上の対物レンズによって形成される試料照明用の集光スポットに基づいて生起される近接場に少なくとも先端部が金属のプローブを挿入して該プローブの先端で散乱された伝播光に基づいて前記試料に係る画像化を行える散乱型近接場顕微鏡において、前記集光スポットを開口数が1以上の光束のみにより形成する手段を設けたことを特徴とする散乱型近接場顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/14 , G01N 21/64 , G02B 21/06

FI (3件)：

G01N 37/00 D , G01N 21/64 Z , G02B 21/06

Fターム (48件)：

2G043AA01 , 2G043CA03 , 2G043CA07 , 2G043DA02 , 2G043DA06 , 2G043EA01 , 2G043FA02 , 2G043GA02 , 2G043GA07 , 2G043GB01 , 2G043GB02 , 2G043GB17 , 2G043GB19 , 2G043HA01 , 2G043HA05 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043JA03 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA02 , 2G043LA03 , 2G043MA01 , 2G043NA13 , 2H052AA00 , 2H052AA07 , 2H052AA08 , 2H052AA09 , 2H052AB02 , 2H052AB14 , 2H052AB24 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC17 , 2H052AC26 , 2H052AC29 , 2H052AC33 , 2H052AC34 , 2H052AD19 , 2H052AD20 , 2H052AD34 , 2H052AF01 , 2H052AF06 , 2H052AF11 , 2H052AF14

引用特許：

審査官引用 (7件)

光照射切り替え方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-324897 出願人：科学技術振興事業団
近接場光走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154906 出願人：オリンパス光学工業株式会社
レーザトラツピング方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-120715 出願人：河田聡, 南茂夫

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