特許
J-GLOBAL ID:201403045146253147
イオンセンサおよびイオン濃度測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-031102
公開番号(公開出願番号):特開2012-168120
特許番号:特許第5541530号
出願日: 2011年02月16日
公開日(公表日): 2012年09月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 参照極と、作用極とを備え、前記参照極および前記作用極の出力に基づいて被測定液のイオン濃度を測定するイオンセンサにおいて、
前記参照極は第1のpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記作用極は第2のpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記第2のpチャネル電界効果トランジスタのゲート部分の半導体表面の終端と前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲートの部分の半導体表面の終端とが異なり、
前記第1のpチャネル電界効果トランジスタにおける前記半導体表面がダイヤモンドを有し、
前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲート部分の半導体表面は水素終端処理が施されたダイヤモンドであってすべて水素終端とされたもの、または前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲート部分の半導体表面は水素終端処理が施されたダイヤモンドであって前記水素終端の一部がフッ素終端に置換されたものである
ことを特徴とするイオンセンサ。
IPC (2件):
G01N 27/414 ( 200 6.01)
, G01N 27/416 ( 200 6.01)
FI (5件):
G01N 27/30 301 R
, G01N 27/30 301 A
, G01N 27/30 301 U
, G01N 27/30 301 V
, G01N 27/46 353 Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献:
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