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J-GLOBAL ID：201502250682093108   整理番号：15A0601041

長尺AFMプローブによるマイクロ光学素子の表面形状測定に関する研究

著者 (5件)： 伊東聡 (東北大) ,  JIA Zhigang (東北大) ,  LI Minglei (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C38  発行年： 2015年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 周期的な表面形状を有するマイクロ光学素子は回折格子やプリズムシート等に使われているが,表面の急峻な傾斜とマイクロスケールの振幅ために光学式測定機や接触式形状測定機による表面形状測定が困難であった。本研究では,長尺プローブを有する原子間力顕微鏡(AFM)を開発し,光学素子のマイクロスケール振幅内において測定対象と干渉することなく走査を可能にした。長尺AFMプローブの構成と形状測定結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  *マイクロプローブ ,  *表面性状 ,  *形状測定 ,  光学素子 ,  *固体素子 ,  表面 ,  品質検査
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  光デバイス ,  光学表面 ,  微小デバイス

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 長尺 ,  AFM ,  プローブ ,  マイクロ光学素子 ,  表面形状測定 ,  研究