2次元薄膜原子構造の層数決定方法および2次元薄膜原子構造の層数決定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：池田憲保 , 福田修一 , 佐々木敬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-521560
特許番号：特許第5874981号
出願日： 2011年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】層数未知の2次元原子層薄膜とそれを支持する基板に電子線を照射して、発生した反射電子または2次電子の電子像を取得する(a)と、前記基板の電子像に対する前記2次元原子層薄膜の電子像の相対強度比を求める、(b)と、前記相対強度比に基づいて2次元原子層薄膜の層数を決定する(c)と、を有する2次元薄膜原子構造の層数決定方法。

IPC (3件)：