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J-GLOBAL ID：201702255799285946   整理番号：17A0189943

微小光学の表面形状測定用長ストローク原子間力顕微鏡

A Long Stroke Atomic Force Microscope for Surface Profile Measurement of Micro-optics

著者 (8件)： ITO So (Tohoku Univ.) ,  LI Minglei (Tohoku Univ.) ,  CHEN Yuanliu (Tohoku Univ.) ,  XU Yanhao (Tohoku Univ.) ,  NIU Zengyuan (Tohoku Univ.) ,  FURUTA Masaya (Tohoku Univ.) ,  SHIMIZU Yuki (Tohoku Univ.) ,  GAO Wei (Tohoku Univ.)
資料名： Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM)  (Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM))
巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.A1-1  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1407B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *光学 ,  *形状測定 ,  *原子間力顕微鏡 ,  水晶発振器 ,  フィードバック制御 ,  周波数変調 ,  効果 ,  検出 ,  安定性 ,  プローブ ,  圧電効果 ,  振動検出 ,  *微小光学 ,  *表面計測
準シソーラス用語： 水晶共振器 ,  *表面形状測定

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小光学 ,  表面形状測定 ,  ストローク ,  原子間力顕微鏡