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J-GLOBAL ID：201702256696974092   整理番号：17A0915759

3次元アトムプローブ法によるGe中のドーパント分布評価

著者 (8件)： 澤野憲太郎 (東京都市大) ,  池上和彦 (東京都市大) ,  山田道洋 (大阪大) ,  清水康雄 (東北大 金属材料研) ,  韓斌 (東北大 大学院工学研究科) ,  と えん (東北大 大学院工学研究科) ,  井上耕治 (東北大 金属材料研) ,  永井康介 (東北大 金属材料研)
資料名： 東北大学金属材料研究所附属量子エネルギー材料科学国際研究センター共同利用研究経過報告書(CD-ROM)  (共同利用研究経過報告書(CD-ROM))
巻： 33  ページ： 68-69  発行年： 2016年 
JST資料番号： X0416B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3次元アトムプローブ ,  Ge ,  ドーパント ,  分布 ,  評価