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J-GLOBAL ID：201702264147273584   整理番号：17A0548113

積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1)

著者 (21件)： 山根大輔 (東京工大) ,  山根大輔 (JST-CREST) ,  小西敏文 (NTT-AT) ,  佐布晃昭 (NTT-AT) ,  中島英亮 (東京工大) ,  中島英亮 (JST-CREST) ,  寺西美波 (東京工大) ,  寺西美波 (JST-CREST) ,  CHEN Chun-Yi (東京工大) ,  CHEN Chun-Yi (JST-CREST) ,  CHANG Tso-Fu Mark (東京工大) ,  CHANG Tso-Fu Mark (JST-CREST) ,  曽根正人 (東京工大) ,  曽根正人 (JST-CREST) ,  年吉洋 (東大) ,  年吉洋 (JST-CREST) ,  益一哉 (東京工大) ,  益一哉 (JST-CREST) ,  町田克之 (東京工大) ,  町田克之 (NTT-AT) ,  町田克之 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.14p-P3-14  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： チタン ,  金 ,  MEMS ,  *Young率 ,  積層構造 ,  *片持梁 ,  *めっき
準シソーラス用語： カンチレバー ,  積層メタル技術

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (6件)： メタル ,  Ti ,  Auめっき ,  構造体 ,  ヤング率 ,  評価