特許
J-GLOBAL ID：201703004314427088
検査装置および検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人開知国際特許事務所
, 春日 讓
, 猪野木 雄一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-025703
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153318
特許番号：特許第6037386号
出願日： 2013年02月13日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 磁気を用いて検査対象物である被検査体におけるきずや材質変化等の特性変化を評価する検査装置であって、
前記検査対象物の検査される面である被検査面の側に配置され、該被検査面に磁場を形成する励磁部と、
前記検査対象物の被検査面の直上に前記被検査面に沿うように配置された膜状の磁場検出素子である磁性フォトニック結晶膜と、
磁気光学効果を生じる前記磁性フォトニック結晶膜に作用している磁場分布に関する情報である磁場検査情報を取得するための第1の波長の光と、前記検査対象物の被検査面の光学像である検査体面情報を取得するための光であって、少なくとも前記第1の波長の光よりも前記磁性フォトニック結晶膜に対する透過率が高い第2の波長の光とを放射する発光部と、
前記発光部から放射された光を前記被検査体に照射する照射部と、
前記照射部から照射される第1の波長の光により前記磁性フォトニック結晶膜から光学的な情報として得られる前記磁場検査情報と、前記照射部から照射される第2の波長の光により前記被検査体から光学的な情報として得られる前記検査体面情報とを選択的に取得する選択部と、
前記選択部により得られた前記磁場検査情報と前記検査体面情報とに基づき画像データを生成する画像生成部と、
前記画像生成部により生成された画像データを表示する表示器と
を備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
G01N 27/83 ( 200 6.01)
, G01N 21/88 ( 200 6.01)
G01N 27/83
, G01N 21/88 H
出願人引用 (6件)
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疵判定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-064310
出願人：住友金属工業株式会社
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磁気光学欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-265020
出願人：新日本製鐵株式会社
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特開昭62-110139
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審査官引用 (3件)
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疵判定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-064310
出願人：住友金属工業株式会社
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磁気光学欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-265020
出願人：新日本製鐵株式会社
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特開昭62-110139
引用文献：
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