表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-154298
公開番号（公開出願番号）：特開2015-025592
特許番号：特許第6164733号
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】筒状の熱シールドと、前記筒内に配置された伝熱棒と、前記伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、前記高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、前記熱シールドに設けられた開閉部と、前記開閉部に設けられた2つのビーム孔とを有し、前記高熱伝導性電気絶縁板に孔部が設けられており、前記孔部内にフィラメントが設けられていることを特徴とする表面観測用試料冷却装置。

IPC (3件)：