特許
J-GLOBAL ID：200903018893495900

試料冷却装置

発明者：
永宗 靖

永宗 靖 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (3件)： 飯田 敏三 ,  佐々木 渉 ,  宮前 尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-101158
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298506
出願日： 2007年04月06日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】極低温に冷却した時、測定基準面に対し、試料ないしはウェハーが、振動やドリフトをすることのない装置を提供すること。【解決手段】(a)測定基準面を形成するテーブルを有するハウジングに設けられた、断熱部材を介して支持され真空容器内に配置した試料ホルダと、(b)前記ハウジング内に配置されたフレームであって、前記ハウジングと前記フレームとの間が第1緩衝機によって支持されたフレームと、(c)前記フレーム内に配置した冷凍機であって、該冷凍機が、該フレームと、前記真空容器の方向に冷凍機ヘッドを向けた該冷凍機との間に配設された第2緩衝機によって支持され、かつ、該冷凍機の該冷凍機ヘッドが、前記試料ホルダと該冷凍機ヘッドとの間に配設した可撓性熱伝導部材によって、該試料ホルダに接続してなる、試料冷却装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(a)測定基準面を形成するテーブルを有するハウジングに設けられた、断熱部材を介して支持され真空容器内に配置した試料ホルダと、 (b)前記ハウジング内に配置されたフレームであって、前記ハウジングと前記フレームとの間が第1緩衝機によって支持されたフレームと、 (c)前記フレーム内に配置した冷凍機であって、該冷凍機が、該フレームと、前記真空容器の方向に冷凍機ヘッドを向けた該冷凍機との間に配設された第2緩衝機によって支持され、かつ、該冷凍機の該冷凍機ヘッドが、前記試料ホルダと該冷凍機ヘッドとの間に配設した可撓性熱伝導部材によって、該試料ホルダに接続してなる、 ことを特徴とする試料冷却装置。
IPC (3件)：
G01N 1/28 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/683
FI (4件)：
G01N1/28 K ,  G01N1/28 F ,  H01L21/66 H ,  H01L21/68 N
Fターム (26件)：
2G052AA13 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052GA31 ,  4M106AA01 ,  4M106CA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DH45 ,  4M106DJ02 ,  5F031CA02 ,  5F031CA17 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA23 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • 超電導コイル冷却装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-075381   出願人：日立電線株式会社, 株式会社日立製作所
  • 超伝導装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-126641   出願人：株式会社超伝導センサ研究所
  • 冷凍装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-228551   出願人：三菱電機株式会社
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