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J-GLOBAL ID：201802285556848709   整理番号：18A0982782

プラズマCVDによるグラフェンナノリボンのボトムアップ合成

著者 (3件)： 加藤俊顕 (東北大 大学院工学研究科) ,  加藤俊顕 (JST-さきがけ) ,  金子俊郎 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 94  号： 5  ページ： 235-241  発行年： 2018年05月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 炭素原子1個分の厚みからなる究極の2次元材料であるグラフェンは,様々な優れた基礎物性を持つことが既に明らかとされ,次世代電子材料として大きな注目を集めている。一方でグラフェンにはバンドギャップが存在しないため,半導体応用に向けた研究が停滞しているのが現状である。これに対し,グラフェンがナノメートル幅の1次元短冊状構造をとることで,バンドギャップが発現することが近年発見され,半導体グラフェンとして世界中で研究競争が活発化している。グラフェンナノリボン(GNR)と呼ばれるこの新材料は,グラフェンの光透過性や機械的柔軟性と,半導体材料としての基礎特性を合わせ持つことから,将来の次世代超高性能フレキシブル光電子デバイス開発に向けその貢献が大きく期待されている。本稿では,この様なGNR研究に関する世界的な現状と共に,我々が近年独自に開発したGNRの大規模集積化合成手法,及び液体金属中の不安定性を活用した特異な合成機構に関する研究成果の一部を紹介する。このように大規模集積化合成が可能となったGNRは,今後実用化に向けた応用研究への展開が大きく期待できるものである。また,液体金属を活用したプラズマナノ材料プロセスという観点で,本稿はプラズマプロセスの新たな研究展開の可能性を示している。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *ナノ構造 ,  *リボン結晶 ,  意思決定 ,  バンドギャップ ,  半導体 ,  LSI【IC】 ,  プラズマ処理
準シソーラス用語： *グラフェンナノリボン ,  ボトムアップ ,  大規模集積化 ,  プラズマプロセス

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

引用文献 (22件)：

• K.S. Novoselov et al., Science 306, 666 (2004).
• K. Nakada et al., Phys. Rev. B 54, 17954 (1996).
• M.Y. Han et al., Phys. Rev. Lett. 98, 206805 (2007).
• X.L. Li et al., Science 319, 1229 (2008).
• L.Y. Jiao et al., Nature 458, 877 (2009).

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマCVD ,  グラフェンナノリボン ,  ボトムアップ