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J-GLOBAL ID：200902171495878695   整理番号：00A1054759

炭素系基板への金属原子拡散過程の分子軌道論的考察

A Consideration of Atomic Diffusibility of Metal on Carbon Substrate using Ab Initio Molecular Orbital Calculation.

著者 (7件)： 豊田洋通 (愛媛大 工) ,  井出たかし (愛媛大 工) ,  八木秀次 (愛媛大 工) ,  後藤英和 (京都工繊大 工芸) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  広瀬喜久治 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院 工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 11  ページ： 1776-1780  発行年： 2000年11月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 前報(同誌,Vol.64,No.5,p753,1998)に続...

シソーラス用語： 半導体 ,...
準シソーラス用語： 黒鉛

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 豊田洋通. 超高真空中での液体金属の濡れ性測定と評価. 精密工学会誌. 1998, 64, 5, 753
• 豊田洋通. 固体表面での濡れ性制御に関する研究(第2報). 1997年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1997, 425
• TOYOTA, H. Wettability and Atomic Diffusibility of Liquid Metals on Solid Surfaces, Precision science and technology for perfect surfaces. JSPE Publication Series. 1999, 3, 983
• 日本化学会. 化学便覧 基礎編. 1993, II-656
• 分子・材料設計支援システムAMOSS利用の手引<分子軌道計算編>. 1995, 165

タイトルに関連する用語 (4件)： 炭素 ,  金属原子 ,  拡散過程 ,  分子軌道