文献

J-GLOBAL ID：200902206154732496   整理番号：08A0181882

ガスジェットZピンチプラズマを用いた半導体リソグラフィ用EUV光源の開発

著者 (5件)： 飯塚直哉 (東京工大) ,  岸望 (東京工大) ,  渡辺正人 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大)
資料名： 日本分光学会講演要旨集  (日本分光学会春季講演会・シンポジウム講演要旨集)
巻： 2006  号： 秋季  ページ： 334-335  発行年： 2006年11月08日 
JST資料番号： L0419A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *Zピンチ ,...
準シソーラス用語： *EUVリソグラフィー

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=08A0181882&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0419A") }}

分類 (3件)： 光源,照明器具  (NB12020F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガスジェット ,  Zピンチ ,  プラズマ ,  半導体リソグラフィ ,  EUV光源 ,  開発