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J-GLOBAL ID：200902222113001571   整理番号：09A0598639

スズリン酸塩ガラス中作製のミクロ/ナノパターンに及ぼす熱刷込条件の効果

Effect of thermal imprinting conditions on fabricated micro/nano patterns in tin phosphate glass

著者 (8件)： TAKATA Shunichi (Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ.) ,  NAKAMURA Shingo (Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ.) ,  CHA Jaemin (Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ.) ,  TAKEBE Hiromichi (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ.) ,  KUWABARA Makoto (Fac. of Engineering Sciences, Kyushu Univ.) ,  SOMA Munehisa (Technical Res. Inst., Toppan Printing Co., Ltd.) ,  SUZUKI Gaku (Technical Res. Inst., Toppan Printing Co., Ltd.) ,  TANAKA Satoru (SCIVAX Co.)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 117  号： 1366  ページ： 783-785 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 67mol%SnO-33mol%P₂O₅組成の低軟化性スズリン酸塩ガラスの熱刷込条件を3つのプロセスパラメータ,温度,刷込圧力および保持時間を使って調べた。シリカ型(~120nm)と類似の深さを有するミクロ正方形格子(SG)パターンの作製条件の最適化を行った。AFM観察から,深さが約120nmで,700nm×700nmのSGパターンを良好な再現性で作製することができることを確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *リン酸塩ガラス ,  *スズ化合物 ,  酸化スズ ,  酸化リン ,  型 ,  *パターン形成 ,  融解 ,  加熱 ,  *刷込 ,  *プロセスパラメータ ,  温度依存性 ,  圧力効果 ,  保持時間 ,  正方格子 ,  最適化 ,  再現性 ,  ナノパターン ,  ミクロパターン形成 ,  改変
準シソーラス用語： 正方形格子

分類 (2件)： ガラスの製造  (YC02020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 1) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett., 67, 3114 (1995).
• 2) Y. Hirai, S. Yoshida and N. Takagi, J. Vac. Sci. Technol., 21, 2765 (2003).
• 3) M. Komori, H. Uchiyama, H. Takebe, T. Kusuura, K. Kobayashi, H. Kuwahara and T. Tsuchiya, J. Micromech. Microeng., 18, 065013 (2008).
• 4) A. B. Seddon, W. J. Pan, D. Furniss, C. A. Miller, H. Rowe, D. Zhang, E. MBrearty, Y. Zhang, A. Loni, P. Sewell and T. M. Benson, J. Non-Cryst. Solids, 352, 2515-2520 (2006).
• 5) H. Takebe, W. Nonaka, T. Kubo, J. Cha and M. Kuwabara, J. Phys. Chem. Solids, 68, 983-986 (2007).

タイトルに関連する用語 (5件)： スズ ,  リン酸塩ガラス ,  作製 ,  ナノパターン ,  刷込